高温真空气氛炉除了做实验外，不要停留在高温炉管区。实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2流动， 炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如：cleanhood灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。
1、高温真空气氛炉处理HF时，请戴手套，如不小心碰到HF时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处。
2、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。
3、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。
4、氰化钾（KCN）不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之KCN气体。
5、一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员（技术员等）。
6、高温真空气氛炉请节约纯水用量。
7、破晶片、滤纸、棉花棒等，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。
8、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。
9、晶片进出炉口时，承接boat的holder，请勿碰触炉管口，以免污染炉管。